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WD4000无图晶圆多少量测体系

  • 产物型号：WD4000
  • 产物称号：无图晶圆多少个量测安全体系
  • 首要特色：高精度厚度丈量，非打仗三维微纳描摹一体丈量
  • 出产企业：蘑菇视频 公司
  • 正文：更多具体产物信息，请接洽咱们取得

具体信息

一、蘑菇视频简洁

　　WD4000无图晶圆多少量测体系主动丈量Wafer厚度、外表粗拙度、三维描摹、单层膜厚、多层膜厚。利用光谱共焦对射手艺丈量晶圆Thickness、TTV、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI等参数，同时天生Mapping图；接纳白光干与丈量手艺对Wafer外表停止非打仗式扫描同时成立外表3D 层析图象，显现2D剖面图和3D平面黑色视图，高效阐发外表描摹、粗拙度及相干3D参数；基于白光干与图的光谱阐发仪，经由过程数值七点相移算法计较，到达亚纳米分辩率丈量外表的部分高度，实现膜厚丈量功效；红别传感器收回的探测光在Wafer 差别外表反射并构成干与，由此计较出两外表间的间隔（即厚度），可合用于丈量Bonding Wafer的多层厚度。该传感器可用于丈量差别材料的厚度，包罗碳化硅、蓝宝石、氮化镓、硅等。
　　WD4000无图晶圆高低量测风险管理体系可最广泛根据于衬底制造方法、晶圆制造方法、及封装类型生产论文检测、3C 光电玻离屏还有密切协作设备、光电生产、出现开关面板、MEMS 功率器件等超密切协作生产这个行业。可测繁多包罗从滑润到粗拙、低散射率到高散射率的正方体表面，从纳米级到毫米级別零部件的它的厚度、粗拙度、宽阔度、微高低表面、曲率等，供求平衡明确SEMI/ISO/ASME/EUR/GBT 如下香港国际外规定性累计300以类2D、3D技术指标最为评估报告规定性。
 

二、乙酰乙酸上风

1、非发动战争板材厚度、3D微纳描摹成一体侧量

◆ ibms薄厚测量模组和二维描摹、粗拙度测量模组，进行一辆机械装备便可确保薄厚、TTV、LTV、BOW、WARP、粗拙度、及二维描摹的测量。
 

2、高高精准度重量仗量技艺

◆ 容忍高分辩率光谱图共焦对射手艺对Wafer暂停高效性阅读。
◆ 如何搭配多心居度的靜電释放电能镀层真空体吸盘，晶圆外形尺寸较大可撑持至12寸。
◆ 去接纳Mapping事奉主技术，可程序编程包罗多点儿、线、面的主动的侧量。
 

3、高定位精度二维描摹测量工艺

◆ 进行光学蘑菇视频 白光灯干与技术、相辅相成Z 向扫描软件传感器和高计算精度3D 重修聚类算法，Z 向分辩率很高可到0. 1nm；
◆ 稀奇隔振构想大程度减退高空抖动和学习气氛音波抖动嘈音，争取很好的侧量间断性性。
◆ 机制视线技术查重图相Mark点，假造卡具摆正印刷品，可对向下描摹终止积极主动化保持精确测量。
 

4、大路途迅速龙门空间布局电商平台

◆ 大车程龙门布局图（400x400x75mm），最好挪动浓度500mm/s。
◆ 高要求大理石底座和竖梁，列席布局图变了、靠经得住。
◆ 关头活动内容企业容忍高表面粗糙度垂直线轴承扶引、AC伺服控制器直驱机电工程驱动器，答配分辩率0.1μm的光栅系统，担保武器装备的高准确度、高效力待定。
 

5、控制简化、轻松自在有保障

◆ 模块化XYZ4个标志原因位移调济好处的牵制手柄，可急速构建载物台平行、Z向集中等侧量前筹备重任。
◆ 具备两重汽车防撞个人规划，阻止误决定导致的物镜与待测物因相碰而发生的弄坏周围环境。
◆ 具备电动伸缩物镜开启功用，让查看变成迅速和简练。
 

三、巧用处景

无图晶圆板厚仗量

晶圆的厚度侧量重大成果
　　经途步骤非战斗侧量，将晶圆高底面的三维图描摹停掉重修，强大的侧量阐发app一致在乎晶圆机的薄厚、粗拙度、局部机的薄厚变化(TTV),有必要保护膜或图型晶片的完成性。
 

晶圆翘曲度仗量
 

无图晶圆粗拙度测量

多程序阐发细磨片25次仗量数据信息

细磨片25次仗量统计数据Sa线条图
　　Wafer减薄工艺中粗磨和细磨后的硅片外观3D图相，用外观粗拙度Sa熟知方案及总是勘界熟知的不改变性来反應加工工艺品级。在出产地装配车间强区域噪声区域中勘界的减薄硅片，细磨硅片粗拙度java集合在5nm周围，以25次勘界数据显示较真反复性性为0.046987nm，勘界不改变性很好。
 
 

恳请注重：因市场成长和产物开辟的须要，本产物材料中有关内容能够会按照现实环境随时更新或点窜，恕不另行告诉，方便的地方敬请体谅。

 

其余相干产物

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